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化学吸附亦称活性吸附，是由于吸附剂表面与吸附质分子间的化学反应力导致化学吸附，它涉及分子中化学键的破坏和重新结合，因此，化学吸附过程的吸附热较物理吸附过程大。
在吸附过程中，物理吸附和化学吸附之间没有严格的界限，同一物质在较低温度下往往是化学吸附。活性炭纤维吸附以物理吸附为主，但由于表面活性剂的存在，也有一定的化学吸附作用。
常见的有机废气处理系统有：冷凝回收法、吸附法、直接燃烧法、催化燃烧法、吸收法、纳米微电解氧化法、热力燃烧法等等。
面对这么多的有机废气处理系统方法，我们如何选择呢？如何选择有机废气处理系统一般来说可以根据这几条来选择废气处理系统：
（1)有机废气的排放流量；
(2)有机废气的排气温度；
(3)有机污染物质浓度水平；
(4)有机污染物质的类型；
(5)微粒散发的水平；
(6)需要达到的污染物控制水平。
含废气处理设备采用的是低温等离子体高压放电，设备利用冷凝法可以回收部分的高浓度的蒸汽，对于工业废气进行吸附法或者是吸收法进行废气的预处理。设备在采用低温进行高压放电，这时候的电场就会吸附有害有毒气体至抽烟板上，打开自由基、分子键进行开释臭氧，通过分子间的化学反映自由结合产生二氧化碳和水。
含废气处理设备适给回收高浓度的蒸汽，到工业废气处理之后会在设备的尾部设有各种过滤材料。
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